是否进口:否 | 加工定制:否 | 品牌:瑞格锐思 |
型号:氧化硅片 | 订货号:氧化硅片 | 货号:氧化硅片 |
产品规格:
单面抛光单面氧化20nm
单面抛光双面氧化50nm
单面抛光单面氧化100nm
单面抛光双面氧化100nm
单面抛光单面氧化200nm
单面抛光双面氧化200nm
单面抛光单面氧化300nm
单面抛光双面氧化300nm
单面抛光单面氧化500nm
单面抛光双面氧化500nm
单面抛光单面氧化1000nm
单面抛光双面氧化1000nm
单面抛光单面氧化2000nm
单面抛光双面氧化2000nm
区熔本征单面抛光双面氧化90nm
区熔本征单面抛光双面氧化300nm
定制硅片请联系客户专拍
我们有很多规格,每种规格价格不一样,具体需要联系我们客服,我们将竭诚为您服务!
生长方式:直拉单晶(CZ)热氧化工艺
直径与工差:100±0.4mm
掺杂类型:N型(掺磷 , 砷 , 锑) P型(掺硼)
晶向:<111>\<100>
电阻率: 0.001-50(Ω?cm) 可按客户要求定制
工艺数据:平整度TIR:<3μm 、 翘曲度TTV: <10μm 、 弯曲度BOW<10μm 、粗糙度<0.5nm、颗粒度<10 (for size > 0.3μm)
用途介绍:用于工艺等同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试 基底、分子束外延生长的基底、X射线分 析晶体半导体